静電容量方式とは
基板上のパターンは、電気的に絶縁された検査用電極との間に、そのパターン面積に比例して一定の容量を持ちます。
パターンに短絡・断線等があるとパターン面積が変化し、この容量値も変化します。その値を良品の容量値データと比較することで、パターンの瑕疵を検出します。
それを検査するのが静電容量方式のフライングチェッカーです。
断線がない場合の容量値 Cx=Cx1+Cx2
断線がある場合の容量値 Cx=Cx1
断線の場合、良品に対して低い容量値が検出され、短絡の場合は他のパターンの容量が加えられ、高くなります。